La spectrométrie de masse à plasma inductif (ICP-MS) est un type de spectrométrie de masse très sensible. Elle peut voir une gamme de métaux et plusieurs non-métaux à des concentrations inférieures à une partie par 1012 (partie par trillion). Elle est basée sur l'association d'un plasma à couplage inductif comme méthode de production d'ions (ionisation) et d'un spectromètre de masse comme méthode de séparation et de détection des ions. De nombreux chimistes utilisent l'argon comme gaz vecteur pour fabriquer le plasma. La machine envoie les ions de l'échantillon à travers une série de petits cônes. Les cônes laissent les ions du plasma entrer lentement dans la chambre à vide du spectromètre de masse.
Dans l'analyse des éléments traces, la méthode présente des avantages de rapidité, de précision et de sensibilité par rapport aux techniques d'absorption atomique. L'analyse de concentrations plus faibles en même temps est plus susceptible d'être perturbée par des contaminants à l'état de traces dans le matériel de laboratoire et les réactifs utilisés. Certains analytes ne peuvent pas fonctionner avec l'ICP-MS. La vérification des résultats d'analyse nécessite un travail supplémentaire.
La variété des applications dépasse celle de l'ICP-OES et comprend la spéciation isotopique. Comme l'ICP-MS peut contribuer à la fabrication de bombes atomiques, le matériel ICP-MS est soumis à des réglementations spéciales en matière d'exportation.