Les premiers Regierungsbezirke ont été créés par le royaume de Prusse en 1808/16, qui a divisé ses provinces en 25 Regierungsbezirke. Les Regierungsbezirke de Rhénanie du Nord-Westphalie sont la continuation directe de ceux créés en 1815. D'autres États de l'Empire allemand ont créé des entités similaires, appelées Kreishauptmannschaft (en Saxe) ou Kreis (en Bavière et au Wurtemberg) (à ne pas confondre avec le Kreis ou Landkreis actuel). Sous le Troisième Reich, le gouvernement nazi a unifié les dénominations ; depuis lors, toutes ces entités sont appelées Regierungsbezirk.
Le 1er janvier 2000, la Rhénanie-Palatinat a dissous ses trois Regierungsbezirke Koblenz, Rheinhessen-Pfalz et Trèves - les employés et les actifs des trois Bezirksregierungen ont été convertis en trois autorités publiques responsables de l'ensemble du Land, chacune couvrant une partie des anciennes responsabilités des Bezirksregierung.
Le 1er janvier 2004, la Saxe-Anhalt a dissous ses trois Regierungsbezirke : Dessau, Halle et Magdebourg. Les responsabilités sont désormais assumées par un Landesverwaltungsamt qui dispose de trois bureaux dans les anciens sièges des Bezirksregierungen.
Le 1er janvier 2005, la Basse-Saxe a dissous ses quatre Regierungsbezirke : Braunschweig, Hanovre, Lüneburg et Weser-Ems.
En 2005, la Rhénanie-du-Nord-Westphalie a prévu de supprimer ses cinq Regierungsbezirke et de créer trois entités autonomes. L'ancien Regierungsbezirk, de "style prussien", n'avait pas d'organes d'autogestion.
