Nosferatu est la seule production de Prana Film. Prana Film a été fondé en 1921 par Enrico Dieckmann et Albin Grau. Grau a eu l'idée de tourner un film sur les vampires ; l'inspiration est venue de l'expérience de guerre de Grau : pendant l'hiver 1916, un fermier serbe lui a dit que son père était un vampire et l'un des morts-vivants.
Diekmann et Grau ont donné à Henrik Galeen un travail sur un scénario inspiré du roman Dracula de Bram Stoker de 1897, bien que Prana Film n'en ait pas les droits. Galeen était un spécialiste expérimenté du romantisme noir ; il avait déjà travaillé sur Der Student von Prag (L'étudiant de Prague) en 1913, et le scénario de Der Golem, wie er in die Welt kam (Le Golem : comment il est venu au monde) dans les années 1920. Galeen a situé l'histoire dans une ville portuaire fictive d'Allemagne du Nord appelée Wisborg et a changé les noms des personnages. Il a ajouté l'idée que le vampire apporte la peste à Wisborg par l'intermédiaire des rats du bateau. Il a laissé de côté le personnage du chasseur de vampires Van Helsing. Le scénario d'expressionnisme allemand de Galeen est poétiquement rythmé, sans être aussi démembré que d'autres livres influencés par l'expressionnisme littéraire, comme ceux de Carl Mayer. Lotte Eisner a décrit le scénario de Galeen comme "voll Poesie, voll Rhythmus" ("plein de poésie, plein de rythme").
Dieckmann et Gray a gagné le réalisateur Friedrich Wilhelm Murnau, qui a fait des films jusqu'en 1919, mais qui avait fait de ses sept premières productions une réputation de cinéaste de talent. Gray, qui avait étudié à l'Académie des Beaux-Arts de Dresde, a pris la relève en tant que directeur artistique et a conçu les décors et les costumes. Hans Erdmann était responsable de la bande sonore du directeur musical du Prana-Film. L'acteur de théâtre inconnu Max Schreck, de Munich, a été engagé pour le rôle titre. D'autres rôles ont été confiés au théâtre expressionniste de Max Reinhardt, qui a formé des acteurs comme Greta Schröder, Gustav von Wangenheim et Alexander Granach, un ancien camarade de classe de l'école d'art dramatique de Murnau Reinhardt au Deutsches Theater.
Le tournage commence en juillet 1921. Les prises de vue extérieures ont été filmées à Wismar. Une prise de vue de la tour de la Marienkirche au-dessus de la place du marché de Wismar avec la Wasserkunst Wismar a servi de plan de base pour la scène de Wisborg. Les autres lieux de tournage étaient le Wassertor, la cour de Heiligen-Geist-Kirche et le port. À Lübeck, la Salzspeicher abandonnée servait de nouvelle maison Wisborg de Nosferatu, celle du cimetière de l'église Aegidienkirche servait de Hutters et en bas, les porteurs de cercueils de Depenau portaient des cercueils. De nombreuses promenades de Lübeck ont eu lieu dans la chasse de Knock qui a ordonné à Hutter dans la cour de Füchting de rencontrer le comte. D'autres coups de feu extérieurs suivirent à Lauenburg, Rostock et sur Sylt. L'équipe du film s'est rendue dans les Carpates, où le château d'Orava a servi de décor au château d'Orlok, à moitié détruit. Des lieux proches ont également servi : Le séjour de Hutter à Dolný Kubín ; le voyage fluvial avec les cercueils filmés sur la rivière Váh ; et les panoramas de la chaîne de montagnes des Hautes Tatras. L'équipe a filmé des prises de vue intérieures au studio du JOFA dans la localité berlinoise de Johannisthal. et d'autres prises de vue extérieures dans la forêt de Tegel. Une partie du film se déroulant en Transylvanie a également été tournée en Slovaquie.
Pour des raisons de coût, le cameraman Fritz Arno Wagner n'avait qu'une seule caméra disponible, et il n'y avait donc qu'un seul négatif original. Le réalisateur a suivi attentivement le scénario de Galeen, en suivant les instructions manuscrites sur le positionnement de la caméra, l'éclairage et les questions connexes. Néanmoins, Murnau a complètement réécrit 12 pages du scénario, car le texte de Galeen était absent du scénario de travail du réalisateur. Cela concerne la dernière scène du film, dans laquelle Ellen se sacrifie et le vampire meurt dans les premiers rayons du Soleil. Murnau s'est préparé avec soin ; il y avait des croquis qui devaient correspondre exactement à chaque scène filmée, et il a utilisé un métronome pour contrôler le rythme du jeu des acteurs.
Comme la caméra était essentiellement statique et immobile à Nosferatu, Murnau a utilisé le mouvement et la différenciation au sein du cadre rigide afin de dynamiser la scène. Comme le navire Orloks se déplace lentement de droite à gauche à travers l'écran de cinéma, Murnau a utilisé cela pour que le "puissant effet de l'impression de mouvement transversal" d'Eisner mette l'accent sur l'éducation. Cela servait les mêmes objectifs de subjectivation de la vue de la caméra, comme lorsque le vampire filmait sur le navire du point de vue de la grenouille ou se tenait debout en regardant par les fenêtres, des parties du cadre et des prises de vue . Le point culminant du regard subjectivé sont les scènes dans lesquelles le personnage du vampire - directement face à la caméra - se tourne vers le public et ainsi le quatrième mur est brisé : "Le vampire semble par son immensité, les dimensions de l'écran à exploser et les spectateurs à menacer directement"
